Carbure, nitrure et carbonitrure de titane élaborés à partir d'un précurseur organométallique : le dichloro titanocène

par Joel̈ Slifirski

Thèse de doctorat en Matériaux

Sous la direction de Francis Teyssandier.

Soutenue en 1993

à Perpignan .


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  • Résumé

    Du carbure, nitrure et carbonitrure de titane ont ete elabores par depot chimique en phase gazeuse a partir d'un precurseur organometallique (omcvd): le dichloro titanocene (cp#2ticl#2). Le comportement thermique de ce produit solide est caracterise par plusieurs techniques qui ont permis entre autres de preciser sa temperature de fusion. L'evolution des proprietes du depot est etudiee en fonction des conditions d'elaboration et notamment de la temperature de vaporisation du precurseur. La temperature du substrat en acier 35cd4 est egalement un parametre important en particulier pour la composition des revetements et donc leurs proprietes mecaniques (durete vickers et adherence). Un reacteur specifique est developpe et etudie a l'aide de la methodologie des plans d'experience. Son originalite repose sur l'utilisation d'un dispositif permettant d'avoir une temperature de paroi constante ente la vaporisation du precurseur et le substrat. Du carbure de titane a ainsi ete elabore confirmant l'influence preponderante de la temperature de vaporisation et de la temperature du substrat. Le temps de sejour des molecules en phase gazeuse a egalement ete etudie

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Informations

  • Détails : 106 p.
  • Annexes : 94

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  • Bibliothèque : Université Perpignan Via Domitia. Service commun de la documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH 1994 SLI
  • Bibliothèque : Université Perpignan Via Domitia. Service commun de la documentation. Section Sciences.
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