Contribution a l'amelioration de la resolution en microscopie optique : profilometrie differentielle picometrique et imagerie en champ proche

par PHILIPPE GLEYZES

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de A. C. BOCCARA.

Soutenue en 1993

à Paris 11 .

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  • Résumé

    Nous avons concu, realise et utilise trois instruments de microscopie optique destines a caracteriser ou controler la fabrication des meilleurs composants optiques aujourd'hui disponibles en nous efforcant d'ameliorer les resolutions longitudinale d'une part et transversale d'autre part. Le premier montage decrit un profilometre differentiel a polarisation et a modulation de phase dont les performances se situent dans la gamme picometrique. La cadence de travail de ce type d'appareil a ete considerablement accrue par un multiplexage spatial d'un type nouveau (brevet cnrs) qui a ete teste avec succes sur un second profilometre. Un systeme optique en champ proche d'un type nouveau a demontre un gain en resolution transversale d'un ordre de grandeur, il est base sur la perturbation periodique du champ au voisinage de la surface d'un echantillon

  • Titre traduit

    Contribution to the improvement of resolution in optical microscopy: picometric differential profilometry and near field imaging


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Informations

  • Détails : 166 P.
  • Annexes : 33 REF.

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  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-011317
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