Prise en compte des effets topographiques en analyse par spectroscopie d'electrons auger. Application a l'analyse de dispositifs submicroniques realises par gravure plasma

par PHILIPPE SAGNOL

Thèse de doctorat en Sciences appliquées. Physique

Sous la direction de JOSETTE RIVORY.

Soutenue en 1993

à Paris 6 .

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  • Résumé

    L'objectif de ce travail est de prendre en compte les effets topographiques presents lors de l'analyse de dispositifs electroniques par spectroscopie d'electrons auger. En effet la densite toujours croissante de ces dispositifs augmente l'importance de la topographie des surfaces libres. Aussi nous avons bien montre et repertorie la presence de phenomenes topographiques lors de l'analyse de tels dispositifs. Perturbant l'analyse qualitative et quantitative, ces effets ont besoin d'etre quantifies afin de permettre la correction des resultats bruts. Nous avons mis au point un programme de monte-carlo dans le but de simuler la trajectoire d'electrons injectes pres d'un relief de base. L'interet de ce programme est de pouvoir discerner la creation des electrons auger, leur transport vers la surface puis leur capacite a atteindre le detecteur, compte tenu du relief. Le resultat de cette simulation revele la participation de chacune des surfaces. Une exploitation parametrique de cette simulation permet d'envisager toutes les conditions d'analyse en termes de haute tension, de courant primaire, d'orientation de faisceau et de forme ou de constitution de l'echantillon. La validite de ces resultats numeriques a ete confrontee avec succes a la mesure experimentale a travers des motifs de base. Enfin, ce modele a permis d'interpreter les resultats d'investigation effectues sur des dispositifs electroniques, tels que des tranchees profondes, des trous de contact, des contaminations particulaires et enfin sur la corrosion intergranulaire en metallurgie


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Informations

  • Détails : 177 P.
  • Annexes : 63 REF.

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  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1993
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