Etude du renforcement d'adherence de couches d'aluminiu deposees par pulverisation rf sur du polymethacrylate de methyle. Effet d'un pretraitement de surface plasma

par KAMAL AMGAAD

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de MICHEL CAILLER.

Soutenue en 1993

à Nantes .


  • Résumé

    Cette etude porte sur le renforcement d'adherence de couches minces d'aluminium, deposees par pulverisation rf, sur des substrats en polymethacrylate de methyle ayant subi un pretraitement de surface, par plasma, dans trois atmospheres differentes (argon, argon+oxygene, azote). La caracterisation mecanique de la force de liaison depot-substrat a ete faite a l'aide du test de la rayure. Les resultats obtenus ont montre qu'aucun accroissement de la charge critique ne se produisait avec l'argon. Dans les deux autres cas (plasmas reactifs), un accroissement notable de cette meme charge critique pouvait etre observe, pour une duree adequate du traitement, un traitement excessif entrainant une perte d'adherence. Par ailleurs, les mesures d'angle de contact ont montre qu'une egale bonne mouillabilite etait obtenue, des les premieres minutes de traitement, quelle que soit la nature du gaz plasmagene utilise. Les changements, crees a la surface du substrat, au cours des differents traitements ont ete etudies par microscopie a balayage et par spectroscopie infrarouge (ftir-atr) et de photoelectrons x (xps). Des examens du domaine interfacial ont egalement ete faits par xps et par microscopie electronique a transmission (met). Les resultats obtenus ont montre que le renforcement d'adherence s'accompagnait d'un changement de morphologie des surfaces traitees, pouvant faciliter l'ancrage du depot metallique sur son substrat. Les observations au met suggerent fortement qu'un tel mecanisme intervient. Cependant, le mecanisme mis en jeu est vraisemblablement plus complexe car de nouvelles liaisons sont egalement observees dans le domaine interfacial. De meme, on peut considerer que l'accroissement de la charge critique peut provenir de l'elimination des couches superficielles, de faible cohesion, presentes initialement a la surface du polymere

  • Titre traduit

    Study enhancement of the adhesion strength of radiofrequency sputtered aluminium thin films to poly(methyl methacrylate) substrates. Effects of plasma surface treatment


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Informations

  • Détails : 169 P.
  • Annexes : 136 REF.

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  • Bibliothèque : Université de Nantes. Service commun de la documentation. BU Sciences.
  • Disponible pour le PEB
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