Etude cinétique de la polymérisation de monomères multifonctionnels par irradiation UV, visible ou laser

par Brigitte Elzaouk-Bouilhet

Thèse de doctorat en Chimie - Physique

Sous la direction de Christian Decker.

Soutenue en 1993

à Mulhouse .


  • Résumé

    Ce travail de recherche a été mené dans le cadre d'un projet européen Esprit sur la fabrication assistée par ordinateur de micro-circuits. Notre objectif était de mettre au point un photorésist à base d'acrylates très sensible au rayonnement UV ou visible d'un laser focalisé fonctionnant en mode continu, dans le but de réaliser l'écriture directe de micro-circuits à une vitesse de l'ordre de 1000 m/s. La recherche consacrée à la formulation et à l'optimisation des performances des résines photopolymérisables dans le domaine de l'UV a conduit à un photorésist composé d'un oligomère polyester-amino-tétra-acrylate, d'un monomère monoacrylique contenant une fonction oxazolidone et d'une morpholinocétone comme photoamorceur. Une vitesse d'écriture de 600 m/s a ainsi pu être atteinte. Une étude similaire pour mettre au point un système photosensible à l'émission visible du laser à argon ionisé (488 nm) a conduit à associer un colorant xanthénique avec un titanocène fluoré, une chlorométhyltriazine et une amine aliphatique. Les performances en termes de vitesse de polymérisation et de sensibilité ont été ameliorées en présence d'un composé brome, grâce à son effet d'atomes lourds. La photosensibilité est analogue à celle observée lors de l'irradiation UV en présence d'air. Le champ de nos recherches a été étendu à l'étude des cinétiques de polymérisation des résines acryliques (évaluation des rendements quantiques de polymérisation, des constantes de vitesse) et de disparition des photoamorceurs (évaluation des rendements quantiques de disparition des molécules photosensibles). Les informations quantitatives ainsi obtenues ont permis une meilleure compréhension des mécanismes réactionnels mis en jeu lors de ces réactions photochimiques

  • Titre traduit

    Kinetic study of the polymerization of multifunctional monomers induced by UV, visible or laser irradiation


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  • Détails : 1 vol. (233 p.)
  • Annexes : Bibliogr. 295 réf.

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