Caractérisation des électrets formés à partir de dioxyde de silicium

par Mohammed Htabou

Thèse de doctorat en Milieux denses et matériaux

Sous la direction de Mireille Latour.

Soutenue en 1993

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    L'etude que nous avons realisee, vise a mieux apprehender les correlations entre les parametres du systeme si/sio#2 et son environnement d'une part, et la stabilite de la charge piegee d'autre part. Parmi les parametres pouvant modifier la capacite de stockage des charges, nous avons examine les effets du type de substrat, de l'epaisseur de l'oxyde, de la polarite de la charge injectee, et de l'humidite environnante avec ou sans traitement a l'hexamethyldisilazane. Par des mesures tsdc nous avons mis en evidence l'effet des ions sodium sur la densite de charge piegee. Une methode de passivation par pulverisation cathodique de cible de teflon est proposee. Le resultat est compare a celui obtenu par passivation si#3n#4

  • Titre traduit

    Silicon dioxide electret characterisation


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  • Détails : 128 f

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  • Cote : TS 93.MON-242
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