Structures multicouches W/a-SiNx:H déposées pae P. E. C. V. D : application aux capteurs capacitifs

par Christophe Monteil

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de Bernard Cros.

Soutenue en 1993

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    Des structures multicouches w/a-sinx:h appliquees a la realisation d'un capteur capacitif ont ete deposees par pecvd basse frequence. Une etude microstructurale du nitrure de silicium amorphe hydrogene a ete conduite par xps, aes et irtf, ainsi que par ellipsometrie et absorption uv: des caracterisations electriques ont ete menees sur une sequence mim. L'adherence des couches de w sur le dielectrique a ete amelioree par le depot d'une couche de wsix a l'interface w/a-sinx:h. Les proprietes electriques des materiaux conducteurs ont ete etudiees: leurs modifications structurales ont ete mises en evidence par xrd, xps et aes. Une etude menee par hrem et aes d'une sequence a-sinx:h/w/wsix/a-sinx:h a montre la presence d'interphases wsixnyoz et wnx entre wsix/a-sinx:h et a-sinx:h/w respectivement

  • Titre traduit

    Multilayer structures w/a-sinx:h deposited by p. E. C. V. D. : application to capacitive sensors


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  • Détails : 211 p
  • Annexes : 262 REF.

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