Dépôt par PACVD de films de carbone amorphe hydrogéné sur acier inoxydable : caractérisation spectroscopique des interfaces et propriétés d'adhésion

par Laurent Deshayes

Thèse de doctorat en Génie des matériaux

Sous la direction de Marlène Charbonnier.

Soutenue en 1993

à Lyon 1 .

Le jury était composé de Marlène Charbonnier.


  • Résumé

    La presente etude porte sur le revetement d'un acier inoxydable f17 par des films de carbone amorphe hydrogene (a-c:h) elabores par pacvd a partir de methane. Les proprietes d'adhesion des films ont ete etudiees en fonction de la nature et des conditions de traitement des substrats metalliques d'une part, des parametres de depot d'autre part. Par rapport aux traitements chimiques et mecaniques traditionnels, les traitements par plasma de gaz reactifs (o#2, nh#3) permettent d'augmenter considerablement l'adherence film/substrat. Ces derniers jouent en effet un double role, a savoir l'elimination de la contamination superficielle et le greffage de groupement reactif. Par ailleurs, les films de carbone amorphe, chimiquement inertes ont ete fonctionnalises par traitements plasma de gaz reactifs afin de polymeriser a leur surface une resine epoxy necessaire pour mettre en uvre le test mecanique de flexion trois points destine a tester l'adherence film/substrat. Les effets de la variation des principaux parametres d'elaboration sur la composition stchiometrique, l'epaisseur et les proprietes d'adhesion ont ete etudies. Les mesures d'adherence ont montre que les films minces d'epaisseur inferieure a 100 nm sont toujours tres adherents sur leur substrat et que l'adherence des films epais est quant a elle fortement amelioree lorsque l'elaboration est realisee a faible pression et forte puissance. Enfin, l'etude electrochimique a montre que, pour obtenir un film sans defauts (porosites ou fissures) il etait necessaire de polir le substrat

  • Titre traduit

    Pacvd deposition of amorphous hydrogenated carbon films on stainless steel spectroscopic. Caracterisation of interfaces and adhesion properties


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  • Détails : 1 vol. (175 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 169-175

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  • Cote : 1993LYO10192
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  • PEB soumis à condition
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