Une nouvelle méthode d'élaboration de films minces : le dépôt d'agrégats : application au cas de l'antimoine

par Jianxiong Hu

Thèse de doctorat en Sciences. Physique des matériaux

Sous la direction de Alain Hoareau.

Soutenue en 1993

à Lyon 1 .

Le jury était composé de Alain Hoareau.


  • Résumé

    L'interet de pouvoir controler de facon reproductible la croissance des films minces a conduit a des developpements recents dans les methodes de depot. Parmi les techniques les plus actuelles exploitees dans ce domaine, celles faisant appel a un jet d'agregats presente le plus d'attrait. La croissance, ainsi que les proprietes des couches obtenues par ces techniques de depot, sont essentiellement controlees par les caracteristiques du jet d'agregats (taille moyenne de la distribution d'agregats, energie cinetique) et par la temperature du substrat. En utilisant une source de type sattler qui fournit une distribution de taille relativement etroite, nous avons compare la technique du depot par jet d'agregats a la methode classique de depot par jet moleculaire dans le cas de l'antimoine. Afin de minimiser l'interaction entre le substrat et le depot, un substrat amorphe a ete choisi pour prevenir toute croissance epitaxiale. Les depots sont caracterises in situ par des mesures electriques et apres transfert a l'air, les films peuvent etre analyses par microscopie electronique a transmission (met). Notre etude a montre que les films d'antimoine obtenus par la methode classique croissent par ilots autour de centres de nucleation de la surface. D'autre part les couches continues obtenues par cette methode sont toujours cristallisees a la temperature ambiante. Par contre nous avons trouve que dans le cas d'un film realise par la methode du depot d'agregats, la quantite de matiere necessaire pour former une couche continue est dix fois plus faible que dans la methode classique. D'autre part les couches obtenues sont amorphes et leur morphologie differe totalement de celle obtenue par depot moleculaire


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  • Détails : 1 vol. (114 f.)
  • Annexes : Bibliogr. pagination multiple [5] f.

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