Etude du panache créé lors de l'interaction entre le faisceau d'un laser U. V. Et une cible de carbone. Application à la réalisation de couches minces

par Chantal Germain

Thèse de doctorat en Chimie. Chimie - Physique

Sous la direction de Alain Catherinot.


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  • Résumé

    Ce travail concerne l'etude du transport des especes dans le plasma cree au-dessus de la surface de la cible lors de l'interaction laser ultraviolet-cible massive de carbone, la realisation et la caracterisation de couches minces de carbone. Il se divise en six parties: 1) le premier chapitre presente une revue des differentes techniques d'elaboration des couches carbone et les proprietes de ces dernieres; 2) le second chapitre est consacre a la description des dispositifs experimentaux utilises lors de l'analyse du panache et la realisation des films; 3) les chapitres trois et quatre concernent l'etude du panache plasma, ce qui constitue une etape necessaire en vue de comprendre et de maitriser la phase de depot. Dans le chapitre 3 sont presentes les resultats de l'analyse de la plume plasma par spectroscopie optique d'emission resolue temporellement et spatialement. Le chapitre 4 est, quant a lui, consacre a l'etude du courant induit par les charges presentes dans le panache, ce qui nous permet de formuler des hypotheses sur la structure du panache; 4) le cinquieme chapitre, grace a une comparaison et une synthese des resultats obtenus lors de l'analyse du panache, apporte des informations sur les phenomenes intervenant lors de l'expansion de la plume plasma; 5) enfin, dans le dernier chapitre, nous presentons l'evolution des caracteristiques des films (epaisseur, adherence, transmission infrarouge, pourcentage de liaisons sp#3, durete) en fonction des parametres experimentaux (en particulier le couple (fluence, temperature))

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Informations

  • Détails : 235 p.
  • Annexes : Notes bibliogr.

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  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : SL 27403
  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
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