Optimisation de l'intégration des composants optoélectroniques en films minces séparés du substrat de croissance par la technique du lift-off

par Christophe Camperi-Ginestet

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Jean-Claude Portal.

Soutenue en 1993

à Toulouse, INSA .


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  • Résumé

    Ce travail s'inscrit dans le souci de developpement d'une nouvelle technique d'integration de composes optoelectroniques avec des supports arbitraires. L'auteur s'est efforce de demontrer la fiabilite d'une nouvelle technique d'integration qu'il a developpee, et par la suite l'utilisation de celle-ci pour la demonstration de nouveaux systemes de communication a trois dimensions. Nous avons etudie les interconnexions optiques inter-planaires et la reduction des interconnexions electriques entre les circuits processeurs et les composants optoelectroniques, les interconnexions electriques conventionnelles limitant les performances des systemes du fait de leurs hautes capacites et de la surface qu'elles necessitent. Pour la demonstration de ces types de systemes, nous avons developpe une technique de separation des couches epitaxiees formant le composant de leurs substrats. Ceci nous permet une optimisation independante des composants et des circuits, et la demonstration de composants separes de leur substrat ayant des performances superieures aux memes structures sur substrat. Le developpement et l'association de ces architectures avec ces composes nous permettent de presenter des systemes en trois dimensions evoluant vers des systemes cubiques

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Informations

  • Détails : [3]-181 p

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  • Bibliothèque : Institut national des sciences appliquées. Bibliothèque centrale.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1993/253/CAM
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