Etude de la fiabilité des cellules mémoires FLOTOX EEPROM

par Constantin Papadas et Gérard Ghibaudo

Thèse de doctorat en Optique, optoélectronique, micro-ondes

Sous la direction de Georges Pananakakis.

Soutenue en 1993

à Grenoble INPG .

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  • Résumé

    Le principe de fonctionnement et les aspects de fiabilite des cellules memoires flotox eeprom sont passes en revue. Les relations intrinseques entre la fiabilite des cellules et les proprietes de degradation des oxydes sont demontrees. De nouveaux outils de suivi de la fiabilite qui permettent d'extraire les dommages subis par les structures mos apres degradation sont proposes. L'utilisation de ces techniques a permis le developpement de nouveaux modeles analytiques qui correlent la degradation des cellules aux proprietes de piegeage des oxydes. Ces modeles analytiques ont ete utilises pour la mise au point de simulateurs originaux de la fiabilite des cellules memoires. Ces programmes ont aussi permis l'optimisation des cellules du point de vue de la fiabilite au niveau cao avant l'etape de fabrication. De plus, de nouveaux modeles analytiques des cellules memoires ont ete presentes rendant possible l'extraction des parametres electriques de fonctionnement des cellules

  • Titre traduit

    Reliability issues of flotox eeprom memory cells


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Informations

  • Détails : 1 vol. (Pagination multiple [164] p.)
  • Annexes : 138 ref.

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