Films minces supraconducteurs d'yba2cu307-x elabores par depot chimique en phase vapeur : croissance et proprietes

par ERIC MOSSANG

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Olivier Thomas.

Soutenue en 1993

à l'INP GRENOBLE .

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  • Résumé

    Nous avons mis au point dans ce travail un reacteur de depot chimique en phase vapeur a partir de precurseurs organometalliques (omcvd) pour l'elaboration de couches minces supraconductrices d'yba2cu3o7x. Le procede developpe permet une croissance des films sous forte pression partielle d'oxygene (2,6 hpa). Le reacteur est horizontal, du type mur chaud. Les epaisseurs des films vont de 40 a 150 nm. D'excellentes proprietes supraconductrices ont pu etre obtenues dans un large intervalle de compositions, alors que les films apparaissent de plus en plus lisses lorsque l'on se rapproche de la stchiometrie 1:2:3. L'obtention de bonnes proprietes supraconductrices et de faibles rugosites necessite donc un controle tres strict de la composition de la phase gazeuse. L'etude de l'influence du substrat a egalement ete menee. Les depots sur mgo(100), srtio3(100) et laa103(012) sont tres textures, avec l'axe c perpendiculaire au plan de la couche, et presentent une forte orientation dans le plan. D'autres directions de croissance ont cependant pu etre determinees sur mgo. Les temperatures critiques et densites de courant critique a 77 k sont respectivement de 86 k et 1,4. 10#6a/cm#2 sur mgo. Les meilleures proprietes supraconductrices sont obtenues sur les substrats de srtio3 et laa1o3. Des temperatures critiques superieures a 90 k et des densites de courant critique comprises entre 3 et 4. 10#6a/cm#2 ont ete mesurees, ce qui montre que l'omcvd est devenue une technique competitive pour le depot d'oxydes supraconducteurs


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  • Détails : 211 P.
  • Annexes : 205 REF.

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