Films polycristallins de diamant : dopage au bore a partir de la phase vapeur

par PATRICE GONON

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de ALAIN DENEVILLE.

Soutenue en 1993

à Grenoble 1 .

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  • Résumé

    En vue de la realisation de dispositifs electroniques a base de diamant, nous avons etudie le dopage au bore des films polycristallins de diamant elabores par depot chimique en phase vapeur. Les films dopes au bore sont caracterises a l'aide de mesures de diffraction x, d'absorption dans l'infrarouge, de diffusion raman, de cathodoluminescence, et de resonance paramagnetique electronique. Les proprietes electriques des films sont etudiees a l'aide de mesures du courant en fonction de la tension et de la temperature, de la capacite en fonction de la tension et de la frequence, et a l'aide de mesures de photoconductivite

  • Titre traduit

    Polycristalline diamond films: boron doping from the gas


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Informations

  • Détails : 138 P.
  • Annexes : 230 REF.

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