Films polycristallins de diamant : dopage au bore à partir de la phase vapeur

par Patrice Gonon

Thèse de doctorat en Microélectronique

Sous la direction de Alain Deneuville.

Soutenue en 1993

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .

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  • Titre traduit

    Polycristalline diamond films: boron doping from the gas


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  • Résumé

    En vue de la realisation de dispositifs electroniques a base de diamant, nous avons etudie le dopage au bore des films polycristallins de diamant elabores par depot chimique en phase vapeur. Les films dopes au bore sont caracterises a l'aide de mesures de diffraction x, d'absorption dans l'infrarouge, de diffusion raman, de cathodoluminescence, et de resonance paramagnetique electronique. Les proprietes electriques des films sont etudiees a l'aide de mesures du courant en fonction de la tension et de la temperature, de la capacite en fonction de la tension et de la frequence, et a l'aide de mesures de photoconductivite

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  • Détails : 1 vol. (127 p.)
  • Annexes : Bibliographie 230 REF.

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  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS93/GRE1/0145

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