Etude de l'influence de la température sur les mécanismes de gravure du tungstène et du silicium en plasma SF6 et SF6/O2 dans un réacteur hélicon

par Richard Petri

Thèse de doctorat en Phys.

Sous la direction de KRISHNA SAMINADAYAR.

Soutenue en 1993

à Grenoble 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Des 1987, le tungstene a ete utilise comme metal d'interconnexion dans les filieres 1 m. Le probleme crucial de la gravure de ce materiau est le controle de l'anisotropie (flancs verticaux). Ce parametre est devenu critique pour les filieres 0,7 m. Afin de fournir un procede compatible avec le cahier des charges des filieres 0,5 et 0,35 m (et, nous l'esperons, au-dela), nous avons etudie la gravure du tungstene en plasma sf#6, a basse temperature de surface, de meme que l'utilisation de reacteurs basse-pression, haute densite electronique, et a polarisation independante. Notre travail a consiste d'abord en une caracterisation du plasma utilise, et des surfaces apres gravure. Nous avons recherche une correlation entre ces etudes et les cinetiques de gravure mesurees experimentalement. Nous avons montre que la gravure s'opere par la formation d'une couche reactive en surface, puis par sa destruction (par pulverisation) sous faisceau d'ions. Ces resultats experimentaux, tant que pour le tungstene que pour le silicium, sont en bon accord avec un modele decrivant ces phenomenes. Le role particulier de la temperature a ete mis en evidence dans les mecanismes de gravure: le gel de la desorption spontanee permet d'obtenir une parfaite anisotropie, ce qui, sur un plan technologique, represente un interet considerable

  • Titre traduit

    Study of the influence of the surface temperature on the mechanisms of tungsten and silicon etching in an sf#6 and sf#6/o#2 plasma in a helicon reactor


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  • Détails : 169 p

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 93/GRE1/0011
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