Etude de nouveaux precurseurs organophosphores pour l'epitaxie par jets chimiques du phosphure d'indium

par MESSAOUD ZAHZOUH

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de GERARD HINCELIN.

Soutenue en 1993

à CNAM .

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  • Résumé

    Les problemes serieux poses par l'utilisation des hydrures dans les techniques d'epitaxie, comme source d'element v (toxicite elevee, stabilite thermique), ont conduit a rechercher de nouvelles sources de substitution. La decomposition thermique du tertiarybutylphosphine (tbp) et du bisphosphinoethane (bpe) est etudiee par spectrometrie de masse. L'utilisation du tbp et du bpe a permis de realiser des couches d'inp presentant une excellente morphologie de surface et une faible concentration d'impuretes comparable a celle obtenue avec la phosphine en epitaxie par jets chimiques


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Informations

  • Détails : 181 P.
  • Annexes : 111 REF.

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  • Bibliothèque : Conservatoire national des arts et métiers (Paris). Bibliothèque Centrale.
  • PEB soumis à condition
  • Cote : Th A 159
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