Elaboration, caracterisation et etude de la conductivite ionique de couches minces d'oxydes mixtes li-al-o et na-al-o

par ERIC CAUDRON

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de JEAN-PIERRE BESSE.

Soutenue en 1993

à Clermont Ferrand 2 .

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  • Résumé

    Les differents aspects de ce travail concernant l'etude des materiaux m-al-o (m=li, na) sous forme de couches minces sont: l'elaboration des depots par la technique de pulverisation cathodique rf et rf magnetron, la mesure de l'epaisseur et de l'indice de refraction par interferometrie, l'analyse de la nature, la microtexture et la composition des couches minces par des techniques classiques (drx, meb, edx) et par des techniques nucleaires (rbs, pige), l'etude de la conductivite ionique des depots par spectroscopie d'impedance. Cette etude montre qu'un choix judicieux des parametres experimentaux permet d'optimiser la qualite des couches obtenues au niveau de leur stabilite, leur homogeneite, leur microtexture et leur composition. Ce travail met egalement en evidence des phenomenes physico-chimiques particuliers aux elements alcalins (evaporation, forte reactivite suivant la composition du plasma) qui s'additionnent au mecanisme de pulverisation lors de l'elaboration des depots. L'etude de la conductivite electrique de ces materiaux en fonction de la temperature montre qu'ils suivent une loi de type arrhenius suivant ce parametre et qu'ils conservent leur nature amorphe jusqu'a 450c. Ce travail demontre que la conductivite mesuree est essentiellement de type ionique. Elle est liee a la dimension des porteurs de charge et est maximale pour des compositions respectives lio,13a11,0001,69ar0,04 et nao,08a11,0001,78ar0,01. Cette etude permet d'envisager la realisation de dispositifs micro-ioniques utilisant comme electrolytes solides des couches minces li-al-o et na-al-o obtenues par pulverisation cathodique


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  • Bibliothèque : Bibliothèque Clermont Université (Aubière). Section Sciences et Techniques.
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  • Bibliothèque : Université Blaise Pascal. Département de physique. Bibliothèque.
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  • Cote : PS17
  • Bibliothèque : Université d'Orléans. Service commun de la documentation.Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 7-1993-3
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