CVD du carbure de silicium à partir de CH3SiCl3/H2 : processus homogènes et hétérogènes : caractérisation microstructurale

par Fabienne Loumagne

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Francis Langlais.

Soutenue en 1993

à Bordeaux 1 .

    mots clés mots clés


  • Pas de résumé disponible.


  • Pas de résumé disponible.


  • Résumé

    Le controle des procedes cvd/cvi d'elaboration de sic passe par une connaissance precise des processus physico-chimiques mis en jeu. L'approche des mecanismes de depot de sic a partir du melange gazeux de methyltrichlorosilane (ch#3sicl#3) et d'hydrogene a ete menee par trois voies principales: (1) l'etude cinetique de la decomposition en phase homogene de ch#3sicl#3 etape qui controle la nature et la quantite des especes reactives intermediaires; (2) l'etude cinetique des reactions de surface conduisant au depot et (3) la caracterisation microstructurale du solide depose. La decomposition de ch#3sicl#3 est un processus quasi unimoleculaire qui conduit aux especes reactives ch#3, sicl#3 et sicl#2. Les correlations entre les lois cinetiques experimentales et les caracteristiques physico-chimiques des depots ont permis de proposer un mecanisme reactionnel de surface, base sur le modele de langmuir-hinshelwood. La formation de sic passe par l'adsorption des especes ch#3 et sicl#3. L'etape limitante du processus chimique est l'elimination de hcl par rupture concertee des liaisons si-cl et c-h

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 136 p.: ill

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : FT 93.B-1044
  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : FTR 93.B-1044
  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université de Limoges. Ecole nationale supérieure d'ingénieurs de Limoges. Bibliothèque.
  • Disponible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.