Microscope à projection utilisant une source à émission de chamo

par Alain Gargani

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Roger Morin.

Soutenue en 1993

à Aix-Marseille 3 .


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  • Résumé

    Cette these concerne l'etude d'un microscope electronique a projection completement different des systemes conventionnels. Un faisceau d'electrons de faible energie (de l'ordre de 100 ev) issu d'une pointe ultrafine eclaire un objet semi-transparent positionne, a l'aide d'un manipulateur, a une distance microscopique de celle-ci. On observe une ombre projetee sur un ecran fluorescent place a une distance macroscopique. Avec ce nouvel outil, nous montrons deux modes d'observation: le mode ombre et le mode holographique. Dans ce travail, nous presentons d'une part, les deux prototypes que nous avons developpes, d'autre part, les premiers resultats obtenus par cette technique. Tout d'abord nous confrontons, en mode ombre, les observations sur des depots de tailles nanometriques (mgo, latex. . . ) avec celles effectuees en microscopie electronique a balayage et en microscopie electronique a transmission. Cette trilogie d'informations, nous permet de comparer sur un meme objet ces differentes microscopies. On constate que les ombres obtenues, a fort grandissement, en microscopie a projection sont bien mieux resolues que celles obtenues avec les systemes conventionnels (ronchigrammes pris avec un stem en mode ombre). Ensuite, nous presentons une etude menee sur de petits objets opaques poses sur un fond transparent au faisceau d'electrons incidents. Ce type d'objet a ete propose par gabor pour l'observation d'hologramme en projection

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Informations

  • Détails : 123 p.

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  • Bibliothèque : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T 2009/A-B
  • Bibliothèque : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
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