Etude par microscopie électronique en réflexion du comportement thermique des marches monoatomiques sur les surfaces vicinales à la face (111) du silicium

par Claude Alfonso

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Jean-Claude Heyraud.

Soutenue en 1993

à Aix-Marseille 3 .


  • Pas de résumé disponible.


  • Pas de résumé disponible.


  • Résumé

    La microscopie electronique en reflexion (r. E. M. ) est une des techniques permettant d'imager les marches de hauteur monoatomique sur les surfaces vicinales d'un cristal. Realise in situ sous ultravide, le r. E. M. Permet de plus d'etudier, en temps reel, le mouvement de ces marches a haute temperature. Il est donc possible, non seulement de caracteriser le comportement de ces marches, mais encore d'obtenir de nombreuses informations sur les processus de croissance d'un cristal. Dans ce but, nous avons etudie par r. E. M. Le comportement thermique des marches monoatomiques sur les surfaces vicinales a la face (111) du silicium. Le comportement de ces marches a ete caracterise a la fois en regime d'equilibre (a une temperature de 900c) et en regime de sublimation (pour des temperatures allant de 1000 a 1300c). Nos resultats experimentaux nous permettent de discuter la validite de differents modeles theoriques notamment en ce qui concerne l'interaction entre marches et la diffusion des adatomes

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 116 p.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T 1995/A-B
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.