Etude des propriétés de films minces de cuivre élaborés par la technique de dépôts par voie chimique en phase gazeuse à partir d'un composé organométallique

par Zoubida Hammadi

Thèse de doctorat en Sciences appliquées. Physique

Sous la direction de Hervé Dallaporta.

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  • Résumé

    Nous avons entrepris l'etude des proprietes de films minces de cuivre elabores par la technique de depots par voie chimique en phase gazeuse en utilisant comme precurseur l'acetylacetonate de cuivre(ii). Les films ont ete realises dans un reacteur horizontal couple a une enceinte d'analyse. Ils ont ete caracterises in situ par une mesure de la reflectivite associee a la spectroscopie auger, et ex situ par des mesures de resistivite, par diffraction de rayons x et par microscopie electronique a balayage. Nous montrons qu'a 300c, il se forme sur silicium un film de cuivre et non pas un siliciure. Nous suggerons la formation d'une interface stable durant les premiers stades de la nucleation, bloquant l'interdiffusion des 2 especes. Le carbone et l'oxygene provenant d'une condensation ou d'une decomposition partielle des ligands sont responsables de ce blocage. Le carbone ne constitue pas un contaminant majeur, il se situe principalement en surface et a l'interface. Les proprietes des depots, en particulier la resistivite, sont comparables a celles obtenues pour des films evapores sous ultra-vide. La mesure de la reflexion speculaire permet de caracteriser la cinetique de croissance et d'analyser in situ par spectroscopie auger, a differentes etapes de la croissance, la composition chimique de la surface. La selectivite a ete obtenue a partir de ce precurseur sur un systeme metal/isolant. On peut obtenir des depots selectifs d'epaisseur maximale: 1 m sur le nitrure de chrome et non pas sur le polyphenylquinoxaline


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Informations

  • Détails : 157 P.
  • Annexes : 101 REF.

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  • Bibliothèque : Université Aix-Marseille (Marseille. Luminy). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 21959
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