Imagerie in situ et caractérisation par électrons rétrodiffusés. Amélioration du rapport signal sur bruit

par Hamid El Abdary

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Jean-Luc Franceschi.

Soutenue en 1992

à Toulouse 3 .


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  • Résumé

    La microscopie electronique a balayage necessite l'utilisation de detecteurs d'electrons sensibles adaptes au mode d'imagerie souhaite. Nous avons etudie et realise des detecteurs d'electrons retrodiffuses faible bruit adaptes a un dispositif experimental particulier pour les observations in situ. La premiere partie du memoire est consacree a l'etude succincte du mini microscope electronique a balayage in situ (mebis) transportable et pouvant travailler directement sur objets massifs. Au deuxieme chapitre, nous effectuons une etude analytique des differentes caracteristiques physiques (energetiques et angulaires) des electrons retrodiffuses (bse) en vue de leur utilisation par des detecteurs adaptes a la caracterisation chimique (determination des numeros atomiques z) et topographique d'objets massifs in situ. Nous presentons ensuite les differents detecteurs et modes de detection qui ont ete utilises jusqu'a present. Le troisieme chapitre est consacre a l'etude et la realisation de detecteurs-bse originaux a scintillation utilisant une liaison souple entre le scintillateur et le photomultiplicateur (systeme de fibres optiques). Il s'agit tout d'abord d'un detecteur annulaire fournissant un fort contraste chimique, puis d'un double detecteur qui permet la separation des deux contrastes chimique et topographique et d'un troisieme detecteur a contraste topographique renforce. Nous comparons les performances de ces detecteurs avec d'autres systemes de detection, notamment avec les detecteurs semiconducteurs (diode schottky et jonction pn) en termes de rapport signal sur bruit, efficacite quantique de detection et bande passante. Les resultats obtenus avec les detecteurs precedents nous ont permis de realiser une application importante de l'ensemble double detecteur-mebis. Cette methode d'analyse-bse presentee au chapitre iv consiste a donner, a partir de l'acquisition et du traitement des images numeriques enregistrees, une estimation rapide des differents constituants chimiques de l'objet analyse. Les images presentees demontrent que nos detecteurs fournissent de meilleurs resultats et qu'ils pourront etre associes avec profit au mini microscope mebis ou tout autre microscope electronique a balayage en mode d'imagerie par electrons retrodiffuses

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Informations

  • Détails : [5]-131 f.-[5] f. de pl

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1992TOU30228
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