Caractérisation par microscopie électronique et techniques associées de verres de chalcogénures GeSey obtenus par dépôt en phase vapeur assisté plasma (PECVD)

par Michèle Dubourg-Paillous

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Jean-Louis Balladore.

Soutenue en 1992

à Toulouse 3 .


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  • Résumé

    Les verres de chalcogenures gese#3 et gese#5#,#5 deposes par pecvd ont ete etudies par microscopie electronique, avant et apres attaque chimique, et presentent des heterogeneites nodulaires. Le traitement thermique de ces verres amorphes provoque la formation a haute temperature de cristaux de gese#2 et de se. L'irradiation electronique et le vieillissement a l'abri ou non de la lumiere amene la formation de dendrites de se. La gravure aux electrons d'un film mince de gese#3 sensibilise avec une solution de kag(co)#2 donne des motifs bien meilleurs que ceux de gese#5#,#5 sensibilise avec agno#3 et irradie aux uv

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Informations

  • Détails : [4]-114 f

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  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1992TOU30193
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