Etude et réalisation d'un simulateur parallèle de la diffusion à l'échelle atomique : création et croissance de boucles de dislocation sous irradiation électronique

par Hafida Idrissi Azami Saba

Thèse de doctorat en Micro-électronique

Sous la direction de Daniel Estève.

Soutenue en 1992

à Toulouse 3 .


  • Pas de résumé disponible.


  • Résumé

    La diffusion de defauts ou d'impuretes dans un semiconducteur est un phenomene essentiel intervenant dans la maitrise des procedes de fabrication des composants electroniques. L'objectif de ce travail a ete d'etudier et de realiser un outil de simulation de ces phenomenes a trois dimensions (asdiff ii). Il presente deux originalites essentielles: 1) il effectue une simulation 3d de la diffusion a l'echelle atomique; 2) il est disponible en version parallele sur le reseau de transputers. Le premier chapitre rappelle les resultats experimentaux relatifs a deux exemples de diffusions anormales: la diffusion de gallium a l'interface gaas-cdte lors de la croissance heteroepitaxique de cdte, la diffusion des interstitiels de cdte soumis a un flux electronique de haute energie. C'est ce deuxieme cas qui a guide plus particulierement les orientations de ce travail de these. Le deuxieme chapitre propose une modelisation conventionnelle de la diffusion. Il considere le mouvement des interstitiels et la formation des defauts etendus sous irradiation en se basant sur la theorie de la cinetique chimique. La comparaison avec les resultats experimentaux suppose un approfondissement du modele a l'echelle atomique. Le troisieme chapitre presente le modele physique utilise: sauts elementaires, tirage aleatoire. . . , et sa transcription en langage informatique occam utilise sur les reseaux de transputers. Le quatrieme chapitre est entierement consacre a l'analyse des resultats obtenus: phenomenes de formation des defauts etendus et leurs representations spatiales. Un resultat original tout particulierement interessant concerne la repartition des lacunes autour des boucles de dislocation. Enfin, nous mettons en evidence des comportements de type chaotique dans la mesure ou, dans des conditions experimentales identiques, mais avec les effets des aleatoires, les structures et les repartitions de defauts peuvent etre extraordinairement differentes. Nous discutons finalement l'interet et la portee de ces resultats theoriques par confrontation avec l'experience

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : [4]-168 f

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Moyens Informatiques et Multimédia. Information.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : F-IDR
  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1992TOU30102
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.