Etude de films minces de nitrure de bore prepares par pulverisation au canon a ions et melange ionique dynamique

par YVES PACAUD

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jean-Paul Rivière.

Soutenue en 1992

à Poitiers .

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  • Résumé

    Le nitrure de bore est un materiau aux proprietes mecaniques semblables a celles du diamant. Sa realisation par melange ionique dynamique sous forme de revetements de protection est donc particulierement interessante. Cette technique d'elaboration mise au point au laboratoire, a subi pour cette etude divers amenagements incluant un porte-echantillon pour la deposition a haute temperature, et un autre pour les basses temperatures. Lors de ce travail, nous avons degage trois axes principaux d'etude: l'elaboration de revetements stchiometriques, l'instabilite des depots, et la caracterisation de nos couches minces en fonction des conditions de deposition. Nous avons obtenu quatre phases du bn qui sont l'amorphe, la turbostratic, l'hexagonale et la rhomboedrique, ainsi que des indices suggerant la presence de bn en phase cubique. La caracterisation de ces depots a ete realisee par microscopie electronique en transmission, analyse infra-rouge, reflectometrie x et s. I. M. S. -x. P. S. , ce qui a permis de differencier nos differentes structures et de definir leurs proprietes respectives. Enfin, quelques etudes de proprietes mecaniques de nos revetements ont ete effectuees, laissant entrevoir des resultats interessants avec la structure hexagonale. Il semble, suite a ces travaux, que l'elaboration de films minces de bn polycristallin dans une phase stable ou metastable soit possible, en particulier lors de deposition a haute temperature. En effet, les parametres principaux s'averent etre la temperature, l'epaisseur, et le rapport q=ions/atome apporte par le melange ionique dynamique, qui influence fortement l'etat des contraintes internes de nos films

  • Titre traduit

    Study of boron nitride thin films realized by ion gun pulverisation and dynamic ionic mixing


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Informations

  • Annexes : 98 REF

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  • Bibliothèque : Université de Poitiers. Service commun de la documentation. Section Sciences, Techniques et Sport.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 27-2-477
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