La soudure directe silicium/silicium. Applications aux capteurs integres

par LIONEL BABADJIAN

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Serge Rigo.

Soutenue en 1992

à Paris 7 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce travail consiste a etudier la soudure directe silicium/silicium ainsi que ses applications dans le domaine des capteurs integres. Apres un chapitre de presentation des technologies employees pour la fabrication des capteurs en silicium, nous nous interessons, dans le second chapitre, aux mecanismes de la soudure directe en s'appuyant sur les proprietes de surface de ce semiconducteur. Nous avons developpe des moyens de caracterisation optiques, mecaniques et electriques afin d'observer l'influence des parametres technologiques. Enfin dans le troisieme chapitre nous exploitons ce moyen d'assemblage pour l'etude et la realisation de demonstrateurs et nous proposons une filiere technologique originale pour la fabrication monolithique des capteurs et de l'electronique


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Informations

  • Détails : 155 P.
  • Annexes : 55 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris Diderot - Paris 7. Service commun de la documentation. Bibliothèque Universitaire des Grands Moulins.
  • PEB soumis à condition
  • Cote : TS(1992) 281
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