Contribution a la modelisation des ecoulements plasmas basse pression d'azote et d'oxygene et du transfert d'energie plasma-surface. Application a l'etude cinetique des recombinaisons catalytiques responsables de l'echauffement d'une surface par un plasma basse pression d'azote et d'oxygene

par KHALED HASSOUNI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jacques Amouroux.

Soutenue en 1992

à Paris 6 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Dans ce travail nous avons presente une approche relative a la modelisation du transfert d'energie entre des plasmas basse pression d'azote ou d'oxygene et une surface metallique. Le modele propose est applicable dans le cas de plasmas basse pression dont les conditions de decharges sont telles que la pression est comprise entre 1 et 10 mbar, la temperature cinetique des electrons inferieure a 21000 k, la temperature cinetique des lourds comprise entre 300 k et 1200 k, et le taux d'ionisation inferieur a 10##4. Le modele propose s'appuie sur une description de l'ecoulement plasma d'un point de vue thermochimique et aerodynamique d'une part et sur une description des interactions et du transfert d'energie entre les especes du plasma et une surface d'autre part. La premiere phase de ce travail a consiste a effectuer une etude de la cinetique chimique caracterisant les ecoulements plasmas etudies. Nous avons ensuite effectue une etude des interactions plasma-surface qui nous a permis de quantifier les transferts d'energie entre les especes du plasma et la surface. La resolution des equations de conservation assorties des conditions aux limites definies par le modele d'interaction plasma-surface, nous a permis de simuler un reacteur tubulaire plasma basse pression d'azote et d'oxygene contenant un echantillon de tungstene en point d'arret. Une validation du modele a ete effectuee dans le cas d'un plasma d'azote a partir d'une mesure des temperatures par spectroscopie d'emission. Les resultats obtenus ont montre l'importance du poids de la recombinaison catalytique des atomes dans la cinetique d'echauffement de la surface. Cela nous a amene a mettre en uvre une methode experimentale de determination des coefficients de recombinaison d'atomes sur des surfaces peu catalytiques. Cette methode a ete appliquee au cas du systeme o/sio#2


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Annexes : 118 REF

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1992
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.