Proprietes physiques et structurales d'une resistance thermique en zircone yttriee obtenue par pulverisation cathodique

par MAGALI CLERY

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Christiane Bonnelle.

Soutenue en 1992

à Paris 6 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    En vue de la realisation de la resistance thermique d'un fluxmetre, des couches minces de zro#2-7% masse y#2o#3 sont elaborees par pulverisation cathodique. Ce procede de depot a implique l'etude des caracteristiques microstructurales en fonction des parametres d'elaboration, afin d'obtenir une faible conductivite thermique, une resistivite electrique elevee et une bonne tenue mecanique. La temperature du substrat et la polarisation en cours de depot ont beaucoup d'influence sur la morphologie, la microstructure et la structure cristalline-phases, parametres, microcontraintes, texture et contraintes


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Cette thèse a donné lieu à une publication en 1992 par Office national d'études et de recherches aérospatiales à Chatillon

Propriétés physiques et structurales d'une résistance thermique en zircone yttriée obtenue par pulvérisation cathodique


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  • Annexes : 83 REF

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Consultable sur place dans l'établissement demandeur
  • Cote : T Paris 6 1992 92
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1992
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Cette thèse a donné lieu à 1 publication .

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Cette thèse a donné lieu à une publication en 1992 par Office national d'études et de recherches aérospatiales à Chatillon

Informations

  • Sous le titre : Propriétés physiques et structurales d'une résistance thermique en zircone yttriée obtenue par pulvérisation cathodique
  • Dans la collection : Note Technique (France. Office National d'Etudes et de Recherches Aérospatiales) , 1992-10 , 0078-3781
  • Détails : 228 p.
  • Notes : Cette Note Technique a fait l'objet d'une thèse de Doctorat soutenue le 25 juin 1992 à l'Université de Paris 6.
  • Annexes : Bibliogr. p. 219-228.
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