Proprietes physiques et structurales d'une resistance thermique en zircone yttriee obtenue par pulverisation cathodique

par MAGALI CLERY

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Christiane Bonnelle.

Soutenue en 1992

à Paris 6 .

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  • Résumé

    En vue de la realisation de la resistance thermique d'un fluxmetre, des couches minces de zro#2-7% masse y#2o#3 sont elaborees par pulverisation cathodique. Ce procede de depot a implique l'etude des caracteristiques microstructurales en fonction des parametres d'elaboration, afin d'obtenir une faible conductivite thermique, une resistivite electrique elevee et une bonne tenue mecanique. La temperature du substrat et la polarisation en cours de depot ont beaucoup d'influence sur la morphologie, la microstructure et la structure cristalline-phases, parametres, microcontraintes, texture et contraintes

  • Titre traduit

    Physical and structural properties of a sputtered zirconia-yttria layer used as a thermal resistance


  • Pas de résumé disponible.

Autre version

Cette thèse a donné lieu à une publication en 1992 par Office national d'études et de recherches aérospatiales à Chatillon

Propriétés physiques et structurales d'une résistance thermique en zircone yttriée obtenue par pulvérisation cathodique


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  • Annexes : 83 REF

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