Synthese et caracterisation de polyimides thermostables et photosensibles en vue d'applications microelectroniques

par MOHAMED BERRADA

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de HIKARU SEKIGUCHI.

Soutenue en 1992

à Paris 6 .

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  • Résumé

    Les polyimides thermostables figurent parmi les polymeres les mieux adaptes et les plus demandes pour la microelectronique. Les polyimides actuellement connus presentent encore quelques problemes de mise en uvre ou de stabilite. Le present travail est consacre a la preparation et a l'etude de nouveaux polyimides solubles et photoreticulables. La voie choisie consiste a fixer le motif photosensible sur la fonction alcool du dianhydride de l'acide benhydrol tetracarboxylique par une liaison ester. La reaction d'esterification qui doit totalement eviter la reaction d'autocondensation dianhydride-alcool a ete mise au point et elle est realisee en solution dans le dichloromethane en presence de dicyclohexylcarbodiimide, de dimethylaminopyridine et d'acide p-toluenesulfonique. Les groupements photosensibles cinnamoyle, furylacryloyle, methacryloyle et acryloyle ont ete ainsi fixes avec des rendements superieurs a 80%. De nouveaux polyimides solubles ont ete prepares par polycondensation de ces esters avec des diamines aromatiques, la methyldianiline et l'oxydianiline, suivie d'une imidification par voie chimique. Les polymeres obtenus ont des masses moleculaires suffisantes pour former des films. La caracterisation de ces polymeres a ete realisee a l'aide de modeles diimides prepares par action de l'aniline sur les monomeres dianhydride esters. La photoreticulation par irradiation uv des monomeres, des diimides modeles et des polymeres a ete realisee soit sous forme de films soit en solution dans le chloroforme. Une etude cinetique de la reticulation de certains de ces produits montre que la reaction est en general d'ordre deux. La sensibilite au rayonnement uv est dans l'ordre decroissant: methacrylate, furylacrylate, cinnamate. La reticulation peut etre suivie par spectrometrie uv ou principalement infrarouge par disparition de la double liaison. Les polymeres irradies sont totalement insolubles


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  • Annexes : 136 REF

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1992
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