Mise au point et caractérisation d'une source d'oxygène atomique : application au dépôt de couches minces supraconducteurs à haute température critique obtenues par pulvérisation cathodique

par Olivier Guymont

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Anne-Marie Pointu.

Soutenue en 1992

à Nancy 1 .


  • Résumé

    Un dispositif de production d'oxygène atomique est mis au point, utilisant une décharge radiofréquence de type onde de surface. Celle-ci est produite dans un tube de quartz cylindrique contenant de l'oxygène en flux et caractérisée au moyen d'une série de diagnostics spectroscopiques et hyperfréquences. Cette source est ensuite utilisée pour l'oxygénation de couches mince supraconductrices à haute température critique

  • Titre traduit

    Realization and characterization of an atomic oxygen source : application to the deposition of high critical temperature superconductive thin films obtained by RF sputtering


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  • Annexes : 37 ref.

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