Imagerie métrologique en nanoscopie : application en métrologie interférométrique

par Éric André

Thèse de doctorat en Composants, signaux et systèmes

Sous la direction de Jean-Pierre Fillard.

Soutenue en 1992

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    La microscopie a saut de phase et la microscopie a glissement de frange sont des nouvelles methodes non destructives de caracterisation de surface des semiconducteurs. L'outil informatique a enormement facilite l'usage de ces techniques de mesure de relief. Autour de lui, les methodes nouvelles de vision permettent l'expertise de qualification de materiaux en surface. Un logiciel specialise nanoprof a ete developpe, a base de menu deroulant et qui permet de mesurer le relief de surface en appliquant ces nouvelles methodes de vision et en creant des images de synthese. Ces images fournissent les renseignements necessaires sur la constitution et la forme des surfaces. L'utilisation de la psm et pfsm a permis de caracteriser le relief de surface des transistors mesfet ainsi que les defauts apres attaque chimique d'echantillons de gaas. Ces caracterisations ont illustre l'utilisation d'un logiciel complet de traitement d'image applique a la mesure de surface

  • Titre traduit

    Metrological imaging in nanoscopy: application in interferometric metrology


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Informations

  • Détails : [8], 122 f
  • Annexes : Bibliogr.: f. 118-122

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  • Cote : TS 92.MON-287

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