Etude par la méthode des oscillations de Rheed de la croissance de GaSb, AlSb et GaAs et applications à la formation de leurs surfaces et interfaces

par Mohamed Nouaoura

Thèse de doctorat en Composants, signaux et systèmes

Sous la direction de Louis Lassabatere.

Soutenue en 1992

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Ce travail de these presente une etude basee essentiellement sur l'analyse par les oscillations de rheed de la croissance par ejm de gasb, alsb et gaas et sur la caracterisation des surfaces et interfaces elaborees avec ces materiaux. La premiere partie est consacree a l'optimisation de la preparation chimique des substrats en vue de l'epitaxie, ainsi qu'a l'amelioration du controle et du suivi des parametres de la croissance (principalement la temperature du substrat). La deuxieme phase porte sur l'etude de la croissance de gasb, alsb et gaas au moyen des oscillations de rheed; elle permet de mieux definir les conditions de croissance de ces materiaux. Dans la derniere partie, on etudie l'interface a fort desaccord parametrique gasb/gaas et presente quelques resultats sur les surfaces et interfaces elaborees a partir de gasb, alsb et gaas

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  • Détails : 1 f., 142 p
  • Annexes : Notes bibliogr

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  • Cote : TS 92.MON-260
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