Effets d'irradiations aux électrons de basse et moyenne énergie sur des isolants MOS issus de différentes technologies

par Philippe Charpenel

Thèse de doctorat en Composants, signaux et systèmes

Sous la direction de Paul Girard.

Soutenue en 1992

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Dans la premiere partie, nous presentons une methode originale permettant une determination precise de l'energie de non charge des isolants en microscopie electronique a balayage. Elle est basee sur l'etude de la variation du potentiel de la surface d'un isolant induite par un depot de charges. Elle utilise pour cela l'analyse des spectres energetiques des electrons secondaires reemis. De plus, elle permet un acces qualitatif au rendement de charge. Elle est appliquee avec succes a divers oxydes de silicium ainsi qu'a des resines lithographiques. Les resultats obtenus sont correles avec d'autres methodes utilisees en metrologie et une generalisation de theories existant dans la litterature. Dans la deuxieme partie, dans le cas de composants mos, nous caracterisons divers processus technologiques a partir des densites de charge d'oxyde de grille et d'etats d'interface induites par les irradiations aux electrons basse ou moyenne energie. Les composants sont issus de technologies a lithographie optique et a faisceau d'electrons, a un et deux niveaux de metal. Un comportement original est observe sur des transistors a canal p a un niveau de metal. Il s'agit d'une deformation de la caracteristique de transfert avec la dose d'electrons incidents et d'une augmentation de la transconductance. Ce phenomene est interprete et modelise comme la mise en serie, sous l'effet de l'irradiation electronique, de plusieurs transistors. Les simulations realisees a partir d'un modele a une dimension sont en excellent accord avec l'experience. Nous avons de plus, mis en evidence, sur des composants a deux niveaux de metal, les effets de sur-irradiation en cours de processus technologique

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Informations

  • Détails : 122, [16], 7 f
  • Annexes : Notes bibliogr. f. [99]-106. - Liste des fig. p. 111-115

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  • Cote : TS 92.MON-240
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  • Cote : EL-TH-CHA-92
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