Caractérisation d'une phase gazeuse en cours de réaction par effet Raman spontané

par Patrice Huguet

Thèse de doctorat en Chimie théorique. Chimie physique

Under the supervision of ROBERT GAUFRES.

Soutenue en 1992

in Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Le travail presente a pour but de mettre au point les methodes experimentales permettant de determiner la temperature et la composition d'une phase gazeuse en cours de reaction dans un processus de depot chimique en phase vapeur, par la spectrometrie raman spontanee. On montre que l'utilisation d'une excitation du spectre place dans la cavite d'un laser d'une part, et d'autre part d'un spectrometre multicanal a tete intensifiee permet d'obtenir des spectres de bonne qualite pour des pressions totales descendant jusqu'a 10 mbar et des temperatures s'elevant jusqu'a 1200 k. Ainsi, la technique du raman spontane peut etre appliquee a la caracterisation de la phase gazeuse dans la plupart des procedes de depot chimique en phase vapeur

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  • Détails : [7], 196 f
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  • Cote : TS 92.MON-83
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