Réalisation et étude de contacts ohmiques métal GaSb en vue de l'optimisation de diodes lasers infrarouges émettant vers 2 microns

par Eric Villemain

Thèse de doctorat en Composants,signaux et matér.

Sous la direction de M. ROLLAND.

Soutenue en 1992

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    La methode de shockley a ete mise en uvre afin de caracteriser la resistivite des contacts metal-semiconducteurs. Une etude systematique a ete realisee sur les contacts gasb (n et p)-metal). Les parametres influant ont ete etudies (etat de surface, constitution de multicoches, methode de depot, traitements thermiques). Une technologie optimale a ete definie. Elle permet d'obtenir de tres faibles resistivites de contact sur gasb de type p ou n. Lorsque cette technologie est utilisee pour la realisation de diodes lasers a base gasb emettant vers deux microns, la resistance serie diminue d'un module, ce qui assure une optimisation des performances de la diode laser

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Informations

  • Détails : 222 p
  • Annexes : Bibliogr.: p. 209-222

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  • Bibliothèque : Bibliothèque interuniversitaire. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 92.MON-54
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