Contribution à l'étude de la métallisation des isolants par pulvérisation cathodique magnétron

par Véronique Guilbaud

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Jean Machet.


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  • Résumé

    L'étude de l'adhérence des couches et la détermination des conditions de dépôts pour obtenir un film adhérent ont constitué les fils directeurs de ce travail. L'adhérence dépend, du substrat : nature, état de surface et du dépôts : nature, structure etc. . Le nettoyage chimique du substrat, ex-situ ont été analysés avec soin. Ce dernier est obenu en créant une décharge électrique r. F dans l'argon pur ou un mélange d'argon et d'azote. Les caractéristiques électriques de cette décharge, en particulier le nombre et l'énergie des ions qui tombent sur la cathode ont été déterminés. L'influence de la présence de la cathode magnétron sur les caractéristiques de la décharge a été mise en évidence. L'échauffement du substrat dû à l'énergie rayonnée dans la décharge et à celle transportée par les atomes qui se déposent a aussi été analysé. Le rôle de la structure et de la morphologie des couches a été mis en évidence sur les caractéristiques des couches. Les contraintes jouent un rôle prépondérant sur l'adhérence des couches. En jouant sur les paramètres de dépôts, on peut modifier la nature de ces contraintes en compression. Les dépôts de cuivre sur verre époxy ont conduit à la réalisation de circuits imprimés. Les dépôts de chrome sur verre sont très adhérents, la rupture ne se produit pas à l'interface depôt-substrat, mais dans le verre lui_même et ont conduit à la réalisation de codeurs optiques

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Informations

  • Détails : 244 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 244

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  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
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