Etude et applications d'un générateur à plasma

par Isabelle Frere

Thèse de doctorat en Instrumentation et mesures

Sous la direction de JACQUES MENET.

Soutenue en 1992

à Grenoble 1 .

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  • Résumé

    Etude et applications d'un generateur a plasma. Le but de travail presente est l'etude d'un generateur a plasma. Celui-ci est une cathode de forme cylindrique ou parallelepipedique rectangle, baignee par un champ magnetique de quelques centaines de gauss, cree par un aimant permanent. Le plasma engendre est un plasma froid, plasma de decharge luminescente anormale. Il est a rapprocher de ceux produits par une decharge en cathode creuse ou en magnetron creux. L'influence de la variation de certains parametres (geometrie de la cathode, pression du gaz plasmagene, intensite du champ magnetique. . . ) sur le fonctionnement de la decharge est presentee. Une autre partie du rapport est consacree a la presentation d'applications du generateur a differents traitements de surface: depots metalliques par evaporation et par pulverisation, decharge ionique, traitement des materiaux plastiques par plasma

  • Titre traduit

    Study and applications of a plasma generator


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  • Détails : 118 f

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