Caractérisation de revêtements de nitrure d'aluminium obtenus par dépôt chimique en phase vapeur assisté plasma : évaluation de leur comportement sous oxydation

par Florence Ansart

Thèse de doctorat en Matér.

Sous la direction de Jacques Bernard.

Soutenue en 1992

à Toulouse, ENSAE .


  • Résumé

    Cette thèse décrit, dans une première partie, la mise au point d'un système de dépôt de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assiste plasma. Une modélisation numérique de l'écoulement gazeux au sein du réacteur a permis de définir la géométrie du système d'entrée de gaz. Les espèces réactives en particulier l'espèce Br2+ ont été suivies par spectroscopie d'émission optique du plasma. La deuxième partie concerne les caractérisations physico-chimiques du nitrure d'aluminium par différents moyens: XPS, FTIR, spectroscopie UV-visible, diffraction électronique, MEB. Le problème de la tenue à l'oxydation de ces revêtements à haute température a été abordé sous deux approches: présentation des résultats expérimentaux obtenus par analyses XPS et FTIR puis description de deux modèles prédictifs de l'oxydation. Le premier modèle basé sur la théorie des liaisons aléatoires nous permet de déterminer les spectres infra-rouge théoriques de nos matériaux. Le deuxième modèle reprend les hypothèses de la théorie de Wagner et nous fournit la vitesse de progression du front d'oxydation. Ces résultats montrent la potentialité du nitrure d'aluminium en tant que revêtement anti-oxydation.

  • Titre traduit

    Characterization of aluminium nitride coatings obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition : evaluation of their behavior under oxidation


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Informations

  • Détails : 1 vol. (83 f.)
  • Annexes : Bibliogr. en fin de vol.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : ISAE-SUPAERO Institut Supérieur de l'Aéronautique et de l'Espace. Service documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1992/103 CLE
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