TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/1992EPXX0025
TI  - Diagnostics et modélisation des décharges radiofréquences dans le silane et l'hélium
AU  - Böhm, Christian
A3  - Perrin, Jérôme
PY  - 1992
SP  - 1 vol. (IX-247 p.)
N1  - Thèse de doctorat Physique des gaz et des plasmas Palaiseau, Ecole polytechnique 1992
N1  - 1992EPXX0025
ER  -