Diagnostics et modélisation des décharges radiofréquences dans le silane et l'hélium

par Christian Böhm

Thèse de doctorat en Physique des gaz et des plasmas

Sous la direction de Jérôme Perrin.

Soutenue en 1992

à Palaiseau, Ecole polytechnique .

Le jury était composé de Jacques Schmitt.

Les rapporteurs étaient Jacques Derouard, Jean-Pierre Boeuf.


  • Résumé

    Ce travail représente une approche pour une meilleure compréhension des mécanismes de dissipation de l'énergie dans des décharges radiofréquence rf couplées capacitivement dans un réacteur à plasma en configuration diode. Une des applications de ces décharges rf est la production de dispositifs en couches minces de a-si:h. La première partie concerne la description du dispositif expérimental ainsi que les diagnostics pour la mesure des différents paramètres caractérisant une décharge rf, tels que la puissance dissipée, le courant rf et ionique, l'émission des électrons secondaires, l'émission optique et la composition de la phase gazeuse. La deuxième partie est centrée sur l'aspect théorique des mécanismes de fonctionnement des décharges rf et les différentes approches de leur modélisation. Finalement, la troisième partie porte sur la caractérisation et modélisation des plasmas d'hélium pur et de silane pur en considérant des conditions de décharge qui entrainent la formation des agrégats, appelés poudres, dans le plasma. Nous présentons aussi nos mesures du coefficient d'émission d'électrons secondaires pour différentes combinaisons de gaz de décharge et matériaux d'électrodes, effectuées à notre connaissance pour la première fois dans des conditions de décharges rf

  • Titre traduit

    Diagnostics and modelisation of silane and helium radiofrequency discharges


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Cette thèse a donné lieu à une publication en 1992 par ANRT à Grenoble

Diagnostics et modélisation des décharges radiofréquences dans le silane et l'hélium


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La version de soutenance existe sous forme papier

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  • Détails : 1 vol. (IX-247 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 243-247

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  • Bibliothèque : École polytechnique. Bibliothèque Centrale.
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  • Bibliothèque : École polytechnique. Bibliothèque Centrale.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : C1A 120/1992/BOH
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Cette thèse a donné lieu à une publication en 1992 par ANRT à Grenoble

Informations

  • Sous le titre : Diagnostics et modélisation des décharges radiofréquences dans le silane et l'hélium
  • Dans la collection : ˜[œGrenoble thèses] , 0294-1767
  • Détails : 1 microfiche (269 images)
  • Annexes : Bibliogr. p. 243-247
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