Diagnostics et modelisation des decharges radiofrequences dans le silane et l'helium

par CHRISTIAN BOHM

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jérôme Perrin.

Soutenue en 1992

à l'EP .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce travail represente une approche pour une meilleure comprehension des mecanismes de dissipation de l'energie dans des decharges radiofrequence rf couplees capacitivement dans un reacteur a plasma en configuration diode. Une des applications de ces decharges rf est la production de dispositifs en couches minces de a-si:h. La premiere partie concerne la description du dispositif experimental ainsi que les diagnostics pour la mesure des differents parametres caracterisant une decharge rf, tels que la puissance dissipee, le courant rf et ionique, l'emission des electrons secondaires, l'emission optique et la composition de la phase gazeuse. La deuxieme partie est centree sur l'aspect theorique des mecanismes de fonctionnement des decharges rf et les differentes approches de leur modelisation. Finalement, la troisieme partie porte sur la caracterisation et modelisation des plasmas d'helium pur et de silane pur en considerant des conditions de decharge qui entrainent la formation des agregats, appeles poudres, dans le plasma. Nous presentons aussi nos mesures du coefficient d'emission d'electrons secondaires pour differentes combinaisons de gaz de decharge et materiaux d'electrodes, effectuees a notre connaissance pour la premiere fois dans des conditions de decharges rf


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