Analyse mecanique et microstructurale de depots de molybdene et de molybdene carbone elabores par pulverisation cathodique magnetron

par Patrice Gergaud

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jean-Lou Lebrun.

Soutenue en 1992

à Paris. ENSAM .

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  • Résumé

    Des depots de molybdene et de molybdene-carbone (domaine de composition mo a mo#2c#1##x) ont ete prepares par pulverisation cathodique magnetron. La texture de ces films est analysee et expliquee a partir d'un modele de canalisation. Cette analyse a conduit a l'etude de la transition de la phase molybdene a la phase carbure de molybdene et a permis de mettre en evidence la presence de macles dans les revetements. La determination des contraintes internes est effectuee en considerant chaque composante de texture comme un monocristal. Les contraintes internes ont ete determinees pour differentes orientations cristallines et en fonction de la tension de polarisation appliquee, de l'epaisseur des depots et de la teneur en carbone. Les resultats experimentaux concernant les textures et les contraintes sont interpretes de maniere coherente a partir des caracteristiques geometriques du magnetron et de l'existence des bombardements ionique et atomique des depots en cours de croissance


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