Etude et réalisation de contacts ohmiques sur le phosphure d'indium de type n et p par dépôt chimique autocatalytique de métaux et d'alliages

par Youming Wang Li

Thèse de doctorat en Sciences. Dispositifs de l'électronique intégrée

Sous la direction de Jean-René Martin.

Soutenue en 1992

à l'Ecully, Ecole centrale de Lyon .


  • Résumé

    L'objet de cette etude est de realiser des contacts ohmiques sur le n et p inp par la methode de depot autocatalytique. Un etat de l'art sur la formation des contacts ohmiques sur les semiconducteurs iii-v et un rappel sur l'elaboration des jonctions metal-semiconducteur sont presentes. Pour realiser les contacts ohmiques, l'auteur utilise la methode de depot autocatalytique. Adaptant des bains acides de pd et de ni, il met au point une methode originale nommee par contact qui evite d'activer prealablement la surface d'inp pour le depot de ni. Pour chaque type de depots des etudes structurales, morphologiques et electriques ont ete entreprises. Les depots de pd/n-inp donnent d'excellents contacts ohmiques (#c<10##6. Cm#2). La formation de composes cristallises thermodynamiquement stables in#3pd et ni#2p permet a ces contacts de tenir aux contraintes thermiques, ce qui leur confere un caracteres refractaire. L'ohmicite est attribuee a un exces en p dans le substrat qui provoque une degenerescence superficielle du semiconducteur. Sur le p-inp, l'auteur montre la faisabilite de formation des multicouches ni/zn/au et ni/hg/au par depot autocatalytique et obtient des resultats d'ohmicite comparables a ceux de la litterature. La multicouche ni/pd permet d'obtenir des contacts ohmiques de 5. 10##3. Cm#2. L'accumulation en in a l'interface favorise le contact ohmique. La diffusion differentielle de l'in et du p au travers de la sous couche de pd joue un role important sur la qualite du contact. Neanmoins ces contacts n'ont pas de caractere refractaire


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Informations

  • Détails : 1 vol. (165 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : 125 réf.

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  • Cote : T1437
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