Precipitation du cuivre aux joints de grains dans le silicium. Etude par microscopie electronique des relations d'orientation dans les bicristaux sigma=13 et sigma=25

par RACHID ABDELAOUI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Gérard Allais.

Soutenue en 1992

à Caen .

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  • Résumé

    La precipitation du cuivre dans les bicristaux de silicium et les relations d'orientation matrice-precipite ont ete etudies par microscopie et diffraction electronique. Les precipites se forment lors du refroidissement rapide et sont groupes dans des colonies localisees dans le plan du joint. A l'interieur d'une colonie, les cristallites ont des dimensions faibles aux bords, mais peuvent atteindre 45 nm au centre et quelle que soit leur orientation, ils sont tous limites par les memes plans (1a1). Les precipites ont ete identifies comme appartenant a la phase eta-cu#3si. Ils sont orientes par rapport a l'un ou l'autre des deux grains du joint et quatre familles distinctes d'orientation ont ete observees. Les orientations notees c et m sont celles trouvees dans le silicium monocristallin: ce sont les orientations cube-cube et sigma=3. Deux autres orientations, notees a et b, peuvent etre decrites comme une adaptation des relations d'orientation classiquement observees dans les systemes cfc/cc. Dans chaque famille d'orientations, il existe des coincidences parametriques remarquables et plusieurs orientations equivalentes par symetrie


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  • Annexes : 76 REF

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