Propriétés des jonctions métal/poylyphénylquinoxaline

par Régis Giustiniani

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Alain Cros.


  • Résumé

    Cette etude, conduite et collaboration avec le cnet dans le cadre du projet connectique, a permis de determiner les principales proprietes de l'interface metal/polyphenylquinoxaline en vue d'une application en microelectronique. Nous avons determine les temperatures de degradation du polymere en presence ou pas de cuivre pour connaitre sa compatibilite avec les temperatures de fin de process (depot metallique, soudure). Nous avons reussi a realiser une gravure dans le polymere sous forme de trous ou de motifs en vue de la realisation de systemes multicouches cuivre/ppq. Les diverses proprietes de surface suivant des traitements (irradiation uv, laser, recuit) peuvent modifier l'adherence du metal sur le polymere. Un recuit sous atmosphere inerte a 300c d'une surface standard permet d'obtenir la meilleure adherence possible


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  • Détails : 61 f.
  • Annexes : Bibliogr.f. 4

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  • Cote : 21402
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