Analyse des caracteristiques de transfert de transistors en couches minces fonctionnant en mode d'accumulation en relation avec les proprietes electriques et la structure granulaire de leur couche active de silicium polycristallin

par Hafida Sehil

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Yves Colin.

Soutenue en 1991

à Rennes 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Des transistors en films minces a couche active de silicium polycristallin, destines a fonctionner en regime d'accumulation, ont ete realises en vue d'etablir une correlation entre la structure granulaire et l'epaisseur de cette couche et les particularites de leurs caracteristiques electriques. L'etude de la caracteristiques de transfert a faible polarisation drain-source a montre que le courant de drain, mesure en fonction de la tension de grille, resulte de la superposition au courant parcourant le film actif entre source et drain, a polarisation de drain donnee: 1) d'un courant de canal, en regime d'accumulation; 2) d'un courant de generation assistee par le champ electrique, en regime d'appauvrissement. On montre que ces trois composantes du courant sont etroitement dependantes de la structure granulaire et de l'epaisseur de la couche active de silicium polycristallin. Une modelisation simple du transistor, basee sur le resultat d'observation au microscope electronique, et l'utilisation d'un programme de resolution numerique de l'equation de poisson a deux dimensions permettent de mettre en evidence l'influence sur l'intensite du courant du couplage electrostatique soit entre les interfaces-avant et -arriere de la couche, soit entre l'interface-avant et le premier joint de grain parallele a celle-ci. Des simulations numeriques montrent l'adequation au moins qualitative de ce modele simple aux phenomenes observes.

  • Titre traduit

    Analysis of the transfer characteristics of accumulation thin film transistors related to electrical properties and the granular structure of the active polycrystalline silicon layer


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Informations

  • Détails : 1 vol. (201 f.)
  • Annexes : 111 REF

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  • Bibliothèque : Université de Rennes 1. Service commun de la documentation. BU Beaulieu.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TA RENNES 1991/84
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