Effet de l'injection d'electrons en regime powler-nordheim sur les caracteristiques electriques des structures capacitives m. O. S

par SIMON ELRHARBI

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Marc Jourdain.

Soutenue en 1991

à Reims .

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  • Résumé

    Le vieillissement des structures mos par des contraintes electriques a champ constant, en regime fowler-nordheim se traduit par une derive et deformation des caracteristiques electriques c. V. Et i. V. Nous avons etudie la cinetique de derive des caracteristiques c. V. Et nous avons analyse l'influence des parametres technologiques (tels que le circuit apres oxydation de la grille, le pourcentage hcl ou la nature de la grille) sur la formation de la charge positive et des etats d'interface. Les resultats, que nous avons trouves, sont coherents avec un modele de diffusion d'especes chimiques liees a l'hydrogene qui migreraient vers l'interface sous l'action du champ electrique et/ou de la temperature. Apres avoir etudie la cinetique des derives des caracteristiques c. V. , nous nous sommes interesses a l'evolution des caracteristiques i. V. Apres contrainte. Nous avons alors degage un modele de vieillissement des structures mos. Les principaux traits du modele que nous avons propose peuvent etre resumes ainsi: la charge positive provient d'un depiegeage d'electrons (ayant une energie cinetique elevee) de pieges initialement remplis, mais aussi de l'injection de trous par l'anode et de la diffusion d'especes chimiques liees a l'hydrogene; la charge negative provient d'un piegeage d'electrons (ayant une energie cinetique faible)


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  • Annexes : 77 REF

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  • Bibliothèque : Université de Reims Champagne-Ardenne. Bibliothèque universitaire. Bibliothèque Moulin de la Housse.
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