Approche théorique des phénomènes de transfert dans une configuration non confinée de jet en impact : application au dépôt chimique en phase gazeuse

par Yun Biao Wang

Thèse de doctorat en Énergétique

Sous la direction de Francis Teyssandier.

Soutenue en 1991

à Perpignan .


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  • Résumé

    De nombreux materiaux sont elabores sous forme de revetement par reaction chimique a partir d'une phase gazeuse sur des pieces portees a haute temperature. Les phenomenes de transfert de quantite de mouvement, d'energie et de matiere associes aux reactions chimiques aussi bien dans la phase gazeuse que sur la surface du solide a revetir ont une tres grande importance pour le materiau final. Ces phenomenes difficilement mesurables experimentalement sont modelises dans le cas d'un ecoulement non confine de type jet en impact. Cette configuration axisymetrique est constituee d'une plaque circulaire plane chauffee sur laquelle le revetement est forme, et d'une buse cylindrique disposee perpendiculairement qui apporte sous forme d'un jet les precurseurs du depot. La resolution repose sur la methode des volumes finis en considerant toutes les proprietes physiques variables. Apres etablissement des equations mathematiques le modele est d'abord developpe dans le cas du jet isotherme. L'influence de la dimension du domaine de calcul et des conditions aux limites sur les resultats du modele au voisinage du point d'impact est alors discutee. Les transferts de chaleur sont ensuite introduits et caracterises par le nombre de nusselt local. Les modifications d'ecoulement liees a la convection naturelle sont mises en evidence. La derniere partie de cette etude traite de l'ecoulement reactif dans le cas du depot de silicium a partir d'un melange initial sih#4h#2 en considerant a la fois les reactions homogenes et heterogenes. L'importance des phenomenes de transfert est mise en exergue a travers l'influence de divers parametres tels que la temperature, la pression totale, le debit du fluide, la distance buse-substrat ou la direction du jet sur les vitesses et profils de depot

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Informations

  • Détails : 1 vol. (vi-228 p.)
  • Annexes : Bibliogr.: p. 203-208

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  • Cote : TH 1991 WAN
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