Optimisation de la filtration en relation avec la qualité de l'air fourni à des salles à empoussièrement contrôlé

par Nathalie Lemaitre

Thèse de doctorat en Physique, chimie des aérosols et contamination

Sous la direction de André Renoux.


  • Résumé

    Pour l'industrie de la microelectronique, la qualite de l'air est un facteur primordial car la production de semi-conducteurs necessite un environnement propre dont le niveau d'empoussierement est controle (salles blanches). La cascade de filtration que comportent les installations de conditionnement d'air, permet de traiter l'air exterieur introduit, pour en diminuer le niveau d'empoussierement avant le dernier etage de filtration absolue des salles blanches. Notre travail a pour objectif la determination de l'agencement de filtration capable de garantir la classe d'empoussierement 100000 (norme afnor x44-101) a la sortie des centrales de traitement d'air. Dans ce but nous comparons plusieurs combinaisons de filtres, en situation reelle sur les installations du site ibm de corbeil-essonnes. Nous etudions leurs principales caracteristiques: efficacite, perte de charge et capacite de colmatage, pour les comparer afin d'effectuer le meilleur choix technique et economique. Nous explorons ensuite les gaines de distribution et les equipements de traitement terminaux, afin de connaitre l'evolution de la qualite de l'air en aval des centrales jusqu'aux salles blanches. De la sorte, nos campagnes de mesures realisees sur les equipements, dans leurs conditions reelles de fonctionnement constituent un diagnostic general de la contamination dans le reseau aeraulique d'une usine de fabrication de semi-conducteurs

  • Titre traduit

    Filtration optimisation in relation with air quality for clean rooms


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Informations

  • Détails : 1 vol. (147 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 125-127

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