Etude de couches ultraminces sur substrats metalliques et semi-conducteurs par spectroscopie infrarouge a transformee de fourier

par CATHERINE DUPONT

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jean Faure.

Soutenue en 1991

à Paris 11 .

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  • Résumé

    La spectroscopie infrarouge a transformee de fourier permet une caracterisation de la structure et de la composition chimique de depots epais, superieurs a une dizaine de nanometres. Couplee a des methodes de detection basees sur les phenomenes de reflexion interne ou externe, elle permet l'analyse non seulement sur des substrats transparents comme le silicium, mais aussi sur des surfaces metalliques, des interfaces et des films ultraminces. Apres avoir decrit d'un point de vue theorique les differentes techniques experimentales et les calculs optiques lies a l'etude des systemes multicouches, nous presentons les divers travaux consacres a l'analyse des interfaces polyimide-aluminium et polyimide-silicium; ce polymere, depose a la tournette ne presente pas d'orientation particuliere. Aucune liaison du type al-o-c, decrite comme le mecanisme regissant l'adherence du polyimide sur l'aluminium n'a ete observee. Il en est de meme sur le silicium. A contrario, l'analyse des interfaces acide behenique-substrat nous a montre que les couches monomoleculaires organiques de ce polymere transferees par la technique de langmuir-blodgett etaient orientees: dans le cas d'un substrat de silicium hydrophobe l'inclinaison moyenne des chaines aliphatiques par rapport a la normale au substrat est de 20 environ, des la premiere monocouche. En ce qui concerne l'aluminium, elle est d'abord de 15 avec la formation d'un sel, et ensuite de 23. Dans le dernier chapitre, nous avons mis en evidence la tres grande sensibilite de la methode de multiples reflexions internes (m. I. R. ), en etudiant l'adsorption des hydrures de silicium sur des surfaces si(100) obtenue par gravure dans des solutions fluorhydriques; nous avons constate que la geometrie de ces surfaces et leur reconstruction n'etaient pas liees uniquement aux qualites intrinseques du silicium, mais surtout aux solutions de gravure et de nettoyage


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  • Annexes : 159 REF

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  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-010426
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