Etude de faisabilite d'interconnexions optiques integrees entre composants microelectroniques

par ETIENNE FRIEDRICH

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Pierre Chavel.

Soutenue en 1991

à Paris 11 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Apres un rappel des techniques d'interconnexions existantes, nous avons passe en revue les differents composants necessaires a un schema d'interconnexions optiques. En tenant compte de l'evolution a venir des circuits microelectroniques, nous avons alors fait la comparaison d'une interconnexion microelectronique et d'une interconnexion optique integree. En nous appuyant sur des considerations de puissance et de rapidite, nous avons ainsi montre la superiorite de l'optique a la frequence de fonctionnement de 500 mhz pour des distances excedant 5 mm. La premiere des experiences pratiques a consiste a deposer une structure optique, comportant des etapes mettant en jeu des plasmas, sur un circuit microelectronique. Nous avons mesure les performances de condensateurs, de transistors et d'oscillateurs en anneau et avons evalue l'influence sur ceux-ci du depot des couches optiques. Les mesures ont revele que des inclusions de charges degradaient les caracteristiques, mais que ces dernieres pouvaient pour l'essentiel etre retablies grace a un recuit. La deuxieme experience a consiste en la definition d'une technologie d'hybridation de diodes laser sur des circuits optiques integres sur silicium. Celle-ci repose sur un alignement uniquement mecanique des lasers avec des microguides. Nous avons montre que notre methode permettait de positionner le laser de facon precise en face du guide. Forts de ces deux experiences, nous pouvons conclure que l'optique integree sur silicium constitue une alternative technologique pour la realisation d'interconnexions entre des composants micro-electroniques sur des circuits rapides et de grande taille


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Informations

  • Annexes : 76 REF

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  • Bibliothèque : Université Paris-Sud (Orsay, Essonne). Service Commun de la Documentation. Section Sciences.
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  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-010195
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